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氦質譜檢漏儀是一款進行檢漏檢測的設備，通過利用氦氣或者氫氣做示漏氣體，通過以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。在工業生產和實驗研究過程中有著較廣泛的應用。因為氦氣的本底噪聲低，其分子量及粘滯系數較小，所以當設備存在漏孔時，氦氣較容易通過漏孔并擴散出去。此外，氦氣系惰性氣體，不會對設備產生額外腐蝕損壞，所以一般進行相關檢測分析時，常用氦氣做示漏氣體。通過將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調節氣體分析儀到僅對氦氣反應的工作狀態的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
與其他設備儀器相同，定期對氦質譜檢漏儀進行保養能夠較好的延長設備的使用壽命，保證設備的可靠性。對氦質譜檢漏儀保養注意以下事項：
一、對氦質譜檢漏儀真空系統進行保養時，由于常見氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進入清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統。
二、除了上述氦質譜檢漏儀真空系統需要保養之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養維護，避免因身背保養不及時導致設備使用壽命縮短。
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